成果简介

晶体超精密加工机床在国家863计划的支持下，于2005年研制成功，实现了大尺寸晶体的超精密加工。可以直接得到表面粗糙度≤5nm的超光滑加工表面。面形精度达到1.6λ(P-V)（300mm×300mm），优于美国NIF晶体加工机床加工的面形精度要求（5λ）。

成果成熟度

孵化或试生产阶段

项目团队主要成员简介

张庆春，男，本科，机械制造及其自动化专业，教授，毕业于哈尔滨工业大学。1990年开始从事超精密加工机床及聚变能源相关光机电设备的研制工作，历任亚微米超精密加工机床分系统工程师、我国重大科学工程聚变能源装置原型装置靶场光电及控制系统总设计师、主机装置靶场光电及控制系统机械副总师。富宏亚，男，博士，机械制造及其自动化专业，教授/博导，毕业于哈尔滨工业大学。1998年开始从事聚变能源装置中电气和控制系统的研制工作，任靶场光电及控制系统电气副总师。

成果完成单位