成果简介

项目研制超大型隔微振装置包括气浮隔微振系统、 主动阻尼隔微振系统、低刚度气浮弹簧系统及零刚度隔 微振系统。整套装置实现了垂直固有频率 0.703Hz，水 平方向固有频率 0.625Hz 以及在（1~100）Hz 频带内 任一点台面振动速度小于 0.77μm/s 的技术性突破。提出了基于主动负刚度调整的大承载低固有频率、基于洛 伦兹力作用的绝对速度反馈式主动阻尼、基于最优弹性 弧长变化率的低刚度气浮隔微振方法以及基于气浮 / 磁 浮承载、导向与解耦的零刚度隔微振方法，显著减低了 隔微振装置垂直和水平固有频率及台面振动速度，大幅 提高了装置的工作稳定性，在隔微振技术及方法上具有 创新性、先进性和实用性。

成果成熟度

市场化产品阶段

成果完成单位

哈尔滨工业大学