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第三代半导体碳化硅和氮化铝单晶
联系人:周宇  联系电话:0451-87174381  入库时间:2015-07-20 点击这里给我发消息
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项目介绍

       以生产满足先进微电子器件和电力电子器件要求的碳化硅晶片为目标,在已有基础上,解决产业化中晶体生长和加工的核心技术,获得从生长设备、晶体生长到晶体加工的一整套具有自主知识产权的技术路线。重点是解决改进生长设备,优化生长工艺,降低微管密度,提高晶体成品率,降低成本等产业化中的关键问题,建成一条国内最大的碳化硅晶片的中试生产线,形成年产晶片3 万片的产能。为企业培养一批技术人才,建立碳化硅晶片产品国家标准,为建立国家碳化硅晶片工程中心奠定基础。进而建立国家碳化硅晶片生产基地,实现大规模化生产,为国家安全所急需的战略性材料提供保障,推动我国国防建设现代化,促进国家电力电子行业的发展,实现节能减排,产生重要的社会、经济、环保效益。



[审核:小韩]

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